微量氧分析儀的原理主要有化學(xué)電池法、原電池法、燃料電池法、赫茲電池法和濃差電池法。要檢測的氧氣先通過(guò)一個(gè)小的毛細口傳感器，然后通過(guò)一個(gè)疏水膜擴散進(jìn)入，到達電極表面。傳感器的結構設計保證會(huì )有適量的氣體進(jìn)入與感應電極反應產(chǎn)生足夠的電信號，并同時(shí)防止電解液泄漏出傳感器。通過(guò)疏水膜擴散進(jìn)入傳感器里的氣體在感應電極發(fā)生氧化/還原反應，電極間連接一個(gè)電阻，這樣，陰極和陽(yáng)極間會(huì )產(chǎn)生一個(gè)與氧濃度成正比的電流。通過(guò)檢測這個(gè)電流，就反應出氣體中的氧濃度。